半導體制造

 

　　Semiconductor Manufacturing

 

　　半導體短缺和半導體更小的工藝節(jié)點競爭。集成電路(IC)的短缺要求從制造過程中獲得更多的產出，因此行業(yè)領導者則在競爭更小的工藝節(jié)點。這些挑戰(zhàn)要求對空氣中的顆粒物污染進行監(jiān)測，以確保產品無風險，產量(產品良率)提升，順利通過潔凈審核。TSI通過我們的高靈敏度粒子計數器提供從納米粒子到亞微米粒子等完整的環(huán)境監(jiān)測解決方案，滿足半導體短缺和更小工藝節(jié)點的競爭需求。

 

　　

 

　　TSI 10 nm潔凈室凝聚核粒子計數器(CPC)和0.1 μm粒子計數器(遠程粒子計數器和便攜式粒子計數器)是滿足半導體行業(yè)關鍵需求的最佳組合。

 

　　TSI 提供高靈敏度粒子計數器近60 余載，比任何其他粒子計數器公司歷史更悠久。TSI儀器被用于世界各地國家級標準實驗室，這些實驗室要求卓越的準確性、重復性和可靠性。 絕不妥協于任一制造過程——相信TSI會監(jiān)測到一切。

 

　　您值得信賴的0.1µm測量

 

　　1.0CFM (28.3 L/min)的AeroTrak®遠程粒子計數器7110型和AeroTrak®便攜式粒子計數器9110型能夠滿足半導體潔凈室應用的苛刻要求。兩款儀器均為您提供4年激光器保修。

 

　　

 

　　AeroTrak® 遠程粒子計數器7110型

 

　　

 

　　7110 型遠程粒子計數器的檢測精度可低至 0.1 μm！此款儀器采用具有提高的信噪比的專利 HeNe 激光技術實現。此款儀器專用于無塵室監(jiān)測、過程監(jiān)測及過濾器測試應用領域。此外，由于此款粒子計數器與外部真空源一起使用，因此置放和配置系統具有極大的靈活性。

 

　　粒子計數數據能夠輕松連續(xù)傳輸到 TSI FMS 5 之類設備監(jiān)測系統中，進行安全的數據采集和分析。特別是，當它與 FMS 5 整合時，您會擁有一個具備統計過程控制等特點的強大生產力工具。這些粒子計數器還能存儲多達 2000 條樣本記錄。

 

　　7110 型符合 ISO 21501-4 中規(guī)定的所有嚴格要求。它通過 NIST 可溯源 PSL 球進行校準，采用粒子檢測公認標準，即 TSI 的世界級分級器和凝聚核粒子計數器標準。

 

　　AeroTrak® 便攜式粒子計數器9110型

 

　　

 

　　9110 型便攜式粒子計數器檢測精度可低至 0.1 μm！9110型完全遵從 ISO-14644-1 標準，是 1 級和 2 級潔凈室分級的最佳選擇。這款儀器適用于潔凈室監(jiān)測、過程監(jiān)控和過濾器測試應用。

 

　　9110 型可以通過打印機和配套的 TrakProTM Lite Secure 下載軟件生成符合 ISO 14644-1 標準的通過或非符合的報告。它不僅可以作為單機粒子計數器使用，也可以集成于諸如 FMS 5 等在線粒子監(jiān)測系統。數據存儲量可達250 個區(qū)域，999 個位置和 10,000 個樣品。