半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境面臨著嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)，將最先進(jìn)的塵埃粒子檢測技術(shù)集成到半導(dǎo)體制造工藝中，用高靈敏度粒子計(jì)數(shù)器提供完整的環(huán)境監(jiān)測解決方案，以確保產(chǎn)品無風(fēng)險(xiǎn)，產(chǎn)量(產(chǎn)品良率)提升。

TSI 提供高靈敏度粒子計(jì)數(shù)器近60余載，比任何其他粒子計(jì)數(shù)器公司歷史更悠久。TSI儀器被用于世界各地國家級(jí)標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室，這些實(shí)驗(yàn)室要求卓越的準(zhǔn)確性、重復(fù)性和可靠性。

TSI AeroTrak?便攜式粒子計(jì)數(shù)器9110型可精確測量0.100μm的粒子，粒徑范圍為0.100至10.0 μm，可同時(shí)檢測多達(dá)八個(gè)通道的粒子數(shù)據(jù)，1.0 CFM (28.3 L/min)流速，能夠滿足半導(dǎo)體潔凈室應(yīng)用的苛刻要求。

它所使用的專利*氦氖(HeNe)激光技術(shù)可以極大程度提高信噪比，且具有極低的維護(hù)成本。9110型完全遵從ISO-14644-1標(biāo)準(zhǔn)，是I級(jí)和II級(jí)潔凈室檢測的最佳選擇。這款儀器適用于潔凈室微粒子監(jiān)測、過程監(jiān)控和過濾器測試應(yīng)用等。

9110型可以通過打印機(jī)和配套的TrakPro^TM LiteSecure下載軟件生成符合ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)的通過或非符合的報(bào)告。它不僅可以作為單機(jī)粒子計(jì)數(shù)器使用，也可以集成于在線粒子監(jiān)測系統(tǒng)。還提供四年激光保修，這是市面上唯一一款提供此售后保證的便攜式 0.100um 粒子計(jì)數(shù)器。

潔凈度對(duì)半導(dǎo)體制造工藝（如潔凈室合規(guī)性、最終產(chǎn)品質(zhì)量）具有重大影響，實(shí)現(xiàn)無污染的半導(dǎo)體制造對(duì)于減少缺陷和良率損失以及提高設(shè)備的可靠性是至關(guān)重要的。

億天凈化作為潔凈技術(shù)應(yīng)用綜合解決方案提供商，能幫助用戶解決在產(chǎn)品制造過程中因?yàn)榄h(huán)境的各種干擾對(duì)產(chǎn)品良率影響的不確定性，幫助用戶進(jìn)行溯源，降低環(huán)境因素的影響，從而讓客戶能夠全身心投入到工藝的研發(fā)和改良當(dāng)中。