RION/日本理音液體粒子計(jì)數(shù)器，可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子，如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿，有機(jī)溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。
 

特點(diǎn)優(yōu)勢

光源鐳射二極管(波長:780nm,額定輸出:5mW)

鐳射材料 人造石英PFA Perfluoro

流量 25ml/分鐘

粒徑范圍(8通道,標(biāo)配)； ≥2μm;   ≥3μm;   ≥5μm;   ≥7μm;   ≥10μm;   ≥25μm;   ≥50μm;   ≥100μm

可選通道 1-10個(gè)通道,由控制器設(shè)定,設(shè)定范圍:2~100μm

粒子數(shù)量 10000顆/ml

電源 DC12V(由KE-40B1供應(yīng))

尺寸.重量 125（H）X 240(W) X 150(D)mm,大約:3kg