RION/日本理音液體粒子計(jì)數(shù)器，可檢測(cè)從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子，如半導(dǎo)體制程中的專(zhuān)用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿，有機(jī)溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測(cè)化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液，測(cè)試方法包括在線和離線測(cè)試。

特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)

測(cè)量范圍 2通道;   ≥0.2μm; ≥0.5μm

最多粒子數(shù)量 1200顆/ml（誤差值低于5%）

技術(shù)參數(shù)

光源 鐳射二極管(波長(zhǎng):780nm,額定輸出:40mW)

部分材料 KL-28B:人造石英,PFA、PTEF

KS-16F:藍(lán)寶石,PFA、PTEF (可測(cè)氫氟酸)

流量 測(cè)試流量10ml/分鐘

測(cè)量范圍 2通道 ; ≥0.2μm; ≥0.5μm

最多粒子數(shù)量 1200顆/ml（誤差值低于5%）

電源 由KE-28B供應(yīng)，100V AC,23VA

尺寸.重量 70(H)  X  85(W) X 118 (D) mm,大約:0.6kg

控制器 KE-28B（專(zhuān)用于KL-28B/KL-28BF）